欧姆龙(OMRON)　光电开关　E3R-5E4 2M

E3R型放大器内置型光电传感器，低成本，小型光电传感器，采用了耐药品、耐油性都很优秀的特氟龙（PFA）能够民晶圆片洗净槽的硫酸等高温液体的检测相对应。（-40 ~ +200℃），实现了0.5mm的高重复精度。采用了防止液体的结构。